Séminaire D2 : Microdischarges de type cathode creuse en régime de courant continu sur silicium


Nom: 
Rémi Dussart, Professeur, Université d'Orléans, Laboratoire GREMI
Lieu Evenemement: 
Salle 175/177, bâtiment H2, SP2MI
Date: 
Jeudi, 15 Février, 2018 - 11:15
Description: 

Abstract:

 

Les microdécharges de type « cathode creuse » ont été introduites dans le milieu des années 90. Elles ont la particularité de fonctionner de manière stable en régime de courant continu à pression atmosphérique. Leur dimension et leur grand rapport surface/volume permettent de limiter la température du gaz et de maintenir un régime de plasma froid hors équilibre thermodynamique local. Au GREMI, des dispositifs de microplasma sont réalisés à partir de procédés de micro et nanotechnologie en salle blanche, issus des techniques de fabrication utilisées en microélectronique.

Dans un premier temps, des microplasmas d’environ 100 µm de diamètre sont produits dans des gaz tels que l’hélium, l’argon et l’azote entre une cathode en silicium et une anode en nickel séparées par un diélectrique de quelques microns d’épaisseur. Dans cette configuration, la décharge est instable et produit des microarcs qui endommagent de manière significative la surface de la cathode et finissent par court-circuiter le dispositif. Le mécanisme de formation des instabilités a été étudié et a permis de proposer des solutions pour permettre un fonctionnement stable et suffisamment long. 

Departement: 
D2







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